商品案内
「ウエットステーション」とは
ゼロ欠陥を支える洗浄力
・バッチ式で
・石英やテフロンの角槽において
・薬液に浸漬させ
シリコンウエハを洗浄する装置です。
主な用途
◆ラッピング（研削研磨）後のウエハ洗浄
◆グラインダー（平面研削）後のウエハ洗浄
◆エッチング後のウエハ洗浄
◆エッジ研磨後のウエハ洗浄
◆鏡面研磨（粗研磨および仕上研磨）後のウエハ洗浄
◆エピ成長前・後のウエハ洗浄
◆アニール前・後のウエハ洗浄
◆最終仕上(ファイナル)のウエハ洗浄
応用技術
また、その応用技術により以下のような製品も展開しています。
◇ スライス後の剥離ウエハ洗浄
◇ 石英チューブ、ボードなどの部品洗浄
◇ FOUP、FOSB、カセットなどのケース洗浄
◇ ウエハのアルカリエッチング
◇ バンプメッキ
納入実績
1982年の創業以来、283台（国内157台、海外126台）の装置を製造販売して参りました。
